Magnetron püskürtme kaplama makinesindeki çalışma basıncı, substratlara uygulanan kaplamanın kalitesini ve tekdüzeliğini nasıl etkiler?
Çalışma basıncı, püskürtülen malzemenin biriktirme oranının substrat üzerine kontrol edilmesinde doğrudan bir rol oynar. Düşük basınçlarda, ortalama serbest yol - püskürtülmüş bir atom mesafesi, di...