Vakum kaplama makinesinde kaplamadan önce iş parçasının temizleme adımları

Substratın yüzeyindeki kaplama filmin yapışmasını ve pürüzsüzlüğünü, ayrıca vakum kaplama makinesinde substrat asılmadan önce, temiz bir durumda olduğundan emin olmak için yağ lekelerini, lekelerini, tozunu çıkarmak için bir ön temizleme adımı gerçekleştirilmeli ve daha sonra kaplama yapılmalıdır.

1. Vakum ısıtma temizliği

İş parçası normal basınç veya vakum altında ısıtılır. Temizlik amacına ulaşmak için yüzeydeki uçucu safsızlıkların buharlaşmasını teşvik edin. Bu yöntemin temizleme etkisi, iş parçasının ortam basıncı, vakumdaki tutma süresinin uzunluğu, ısıtma sıcaklığı, kirletici maddelerin tipi ve iş parçasının malzemesi ile ilgilidir. İlke iş parçasını ısıtmaktır. Su moleküllerinin ve yüzeyinde adsorbe edilen çeşitli hidrokarbon moleküllerinin gelişmiş desorpsiyonunu destekleyin. Desorpsiyon artış derecesi sıcaklığa bağlıdır. Ultra yüksek vakum altında, atomik olarak temiz yüzeyler elde etmek için ısıtma sıcaklığı 450 dereceden daha yüksek olmalıdır. Isıtma temizleme yöntemi özellikle etkilidir. Ancak bazen, bu yaklaşımın yan etkileri de olabilir. Isıtmanın bir sonucu olarak, bazı hidrokarbonların daha büyük aglomeratlara toplVeığı ve aynı zamanda karbon kalıntılarına ayrılması olabilir

2. Ultraviyole ışınlama temizliği

Yüzeydeki hidrokarbonları ayrıştırmak için UV radyasyonunu kullanır. Örneğin, 15 saat havaya maruz kalma temiz bir cam yüzey üretir. Uygun şekilde önceden temizlenmiş yüzeyler ozon üreten bir UV kaynağına yerleştirilirse. Dakikalar halinde temiz bir yüzey oluşturulabilir (temiz iş). Bu, ozon varlığının temizleme hızını arttırdığını gösterir. Temizleme mekanizması: Ultraviyole ışınlama altında, kir molekülleri uyarılır ve ayrılır ve ozonun üretimi ve varlığı oldukça aktif atomik oksijen üretir. Dir ayrışma ile üretilen uyarılmış kir molekülleri ve serbest radikaller atomik oksijen ile etkileşime girer. Daha basit ve daha uçucu moleküller oluşur. H2O3, CO2 ve N2 gibi. Reaksiyon hızı artan sıcaklık ile artar.

3. deşarj temizliği

Bu temizleme yöntemi, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum sistemlerinin temizlenmesi ve giderilmesinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle vakum kaplama makinelerinde kullanılır. Elektron kaynağı olarak bir sıcak tel veya elektrot kullanılır. Temizlenecek yüzeye negatif bir önyargı uygulamak, iyon bombardımanı ve belirli hidrokarbonların çıkarılması ile gaz desorpsiyonu sağlayabilir. Temizleme etkisi elektrot malzemesine, geometriye ve yüzeyle ilişkisine bağlıdır. Yani, birim yüzey alanı başına iyon sayısına ve iyon enerjisine bağlıdır. Böylece mevcut elektrik gücüne bağlıdır. Vakum odası, uygun bir kısmi basınçta inert bir gaz (tipik olarak AR gazı) ile doldurulur. Temizlik, iki uygun elektrot arasındaki düşük voltajda parlama deşarjı ile iyon bombardımanı ile elde edilebilir. Bu yöntemde. İnert gaz iyonize olur ve vakum odasının iç duvarını, vakum odasındaki diğer yapısal parçaları ve kaplanacak substratın yüksek sıcaklıkta pişirilmesinden muaf tutulabilmesi için kaplanacak substrat bombalar. Yüklü gaza oksijen eklenirse bazı hidrokarbonlar için daha iyi temizleme sonuçları elde edilebilir. Çünkü oksijen, vakum sistemi tarafından kolayca çıkarılan uçucu gazlar oluşturmak için belirli hidrokarbonları oksitleyebilir. Paslanmaz çelik yüksek vakum ve ultra yüksek vakum damarlarının yüzeyindeki safsızlıkların ana bileşenleri karbon ve hidrokarbonlardır. Genel olarak, içindeki karbon tek başına volatilize edilemez. Kimyasal temizlikten sonra, parıltı deşarj temizliği için AR veya AR O2 karışık gazın eklenmesi gerekir, böylece kimyasal etki nedeniyle yüzeye ve yüzeye bağlı gazlar çıkarılır. Glow deşarj temizliğinde. Önemli parametreler uygulanan voltaj tipi (AC veya DC), deşarj voltajının büyüklüğü, akım yoğunluğu, yüklü gaz tipi ve basınçtır. Bombardıman süresi. Elektrotların şekli ve temizlenecek parçaların malzemesi ve yeri vb.

4. Gaz yıkama

(1) Azot yıkama

Azot malzemenin yüzeyinde adsorbe edildiğinde, küçük adsorpsiyon enerjisi nedeniyle, yüzey tutma süresi kısadır. Cihazın duvarına adsorbe edilmiş olsa bile, pompalanması kolaydır. Vakum sistemini temizlemek için bu azot özelliğini kullanmak, sistemin pompalama süresini büyük ölçüde kısaltabilir. Örneğin, vakum kaplama makinesi atmosfere konulmadan önce, vakum odasını temizlemek ve daha sonra atmosfere doldurmak için kuru azotla doldurun, bir sonraki pompalama döngüsünün pompalama süresi neredeyse yarısı ile kısaltılabilir, çünkü azotun adsorpsiyon enerjisi, su buharından çok daha küçüktür, su buhar molekülleri, vakug altındaki asit ile doldurulduktan sonra, tapan, tapan, tapanla doldurulduktan sonra, duvar. Adsorpsiyon bölgesi sabitlendiğinden, önce azot molekülleri ile doldurulur ve adsorbe edilmiş çok az su molekülü vardır, böylece pompalama süresini kısaltır. Sistem difüzyon pompasının yağ sıçramasıyla kirlenirse, kirli sistemi temizlemek için azot yıkama yöntemi de kullanılabilir. Genel olarak, sistemi pişirirken ve ısıtırken, sistemi azot gazı ile yıkamak yağ kirliliğini ortadan kaldırabilir.

(2) Reaktif gaz yıkama

Bu yöntem özellikle büyük ultra yüksek paslanmaz çelik vakum kapların iç yıkaması (hidrokarbon kontaminasyonunun çıkarılması) için uygundur. Genellikle, bazı büyük ultra yüksek vakum sistemlerinin vakum odaları ve vakum bileşenleri için, atomik olarak temiz yüzeyler elde etmek için yüzey kontaminasyonunu ortadan kaldırmak için standart yöntemler kimyasal temizleme, vakum fırını kavraması, parıltı deşarj temizliği ve orijinal enerji kavurma vakum sistemleri ve diğer yöntemlerdir. Yukarıda açıklanan temizleme ve gazetleme yöntemleri, bir vakum sisteminin montajından önce ve sırasında yaygın olarak kullanılır. Vakum sistemi kurulduktan sonra (veya sistem çalıştıktan sonra), vakum sistemindeki çeşitli bileşenler sabitlendiğinden, vakum sistemindeki çeşitli bileşenleri degas yapmak zordur. Sistem (yanlışlıkla) kontamine (çoğunlukla büyük atom sayıları) hidrokarbon kontaminasyonu gibi moleküller, kurulumdan önce sökülür ve yeniden işlenir. Reaktif gaz işlemi ile yerinde çevrimiçi gazetleme yapılabilir. Paslanmaz çelik vakum odasında hidrokarbonların kirliliğini etkili bir şekilde çıkarın. Temizleme mekanizması: Sistemde, atomik olarak temiz metal yüzeyler elde etmek için kirliliği ortadan kaldırmak için metal yüzeyde kimyasal reaksiyon temizliği yapmak için sistemde gaz (O2, N0) ve gazın azaltılması (H2, N H3) alıntılanmıştır. Yüzey oksidasyon/indirgeme hızı, metal yüzeyin kontaminasyonuna ve malzemesine bağlıdır. Yüzey reaksiyon hızı, reaksiyon gazının basıncı ve sıcaklığı ayarlanarak kontrol edilir. Her substrat için kesin parametreler deneysel olarak belirlenir. Bu parametreler farklı kristalografik yönelimler için farklıdır.

2007 yılında önceki adı Huahong Vakum Technology olarak kurulan profesyonel Çin Vakum Accessoriess Tedarikçileri and Vakum Accessoriess Üreticileri püskürtme sistemleri, optik kaplama üniteleri, toplu metalleştiriciler, fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemleri, sert ve aşınmaya dayanıklı vakum kaplama biriktirme ekipmanı, cam, PE, PC substrat katmanları, esnek substratları kaplamak için rulo-rollu makineler dahil ancak bunlarla sınırlı değil. Makineler, otomotiv, dekoratif, sert kaplamalar, alet ve metal kesme kaplamaları ve üniversiteler de dahil olmak üzere endüstriyel ve laboratuvarlar için ince film kaplama uygulamaları aşağıda açıklanan (ancak bunlarla sınırlı olmamak üzere) çok çeşitli uygulamalar için kullanılmaktadır. Şirketimiz, yerel ve uluslararası pazarlarda satış sonrası hizmete odaklanıyor ve müşterileri karşılamak için doğru parça işleme planları ve profesyonel çözümler sunuyor.