Vakum kaplama makinesinin kaplama performansını hangi faktörler etkileyecek?

Hangi faktörler kaplama performansını etkileyecektir? vakum kaplama makinesi ?

Bir vakum kaplama makinesi iyi bir filmi kaplamak istiyorsa, vakum kaplama, taban hedef mesafesi, buharlaşma sıcaklığı, substrat sıcaklığı, artık gaz basıncı ve diğer faktörler gibi birçok faktörün normal durumda olmasını sağlamalıdır. Belli bir faktörde bir sapma var. Vakum kaplama makinesinin kaplama tabakasının performansını etkileyecektir. Aşağıda, vakum kaplama makinesinin kaplama performansını hangi faktörlerin etkileyeceğini ayrıntılı olarak açıklamak için bir vakum düzenleyicidir. Umarım size yardımcı olabilir:

1. Buharlaşma oranı

Buharlaşma oranının büyüklüğü, yatırılan film üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Düşük biriktirme oranı ile oluşturulan kaplama yapısı gevşek ve büyük parçacıkların biriktirilmesi kolay olduğundan, kaplama yapısının kompaktlığını sağlamak için daha yüksek bir buharlaşma oranı seçmek çok güvenlidir. Vakum odasındaki artık gazın basıncı sabit olduğunda, substrat bombardıman bombardıman oranı sabit bir değerdir. Bu nedenle, daha yüksek bir biriktirme oranı seçildikten sonra, biriken filmde bulunan artık gaz azaltılacak, böylece artık gaz molekülleri ile buharlaştırılmış film malzemesinin parçacıkları arasındaki kimyasal reaksiyonu azaltacaktır. Bu nedenle, yatırılan filmin saflığı geliştirilebilir. Biriktirme oranı çok yüksekse, filmin iç stresini artırabileceği, film katmanındaki kusurlarda bir artışa ve hatta şiddetli durumlarda film katmanının çatlamasına neden olabileceği unutulmamalıdır. Özellikle, reaktif buharlaşma sürecinde, reaksiyon gazının ve buharlaştırılan film malzeme parçacıklarının yeterince reaksiyona girmesini sağlamak için daha düşük bir biriktirme oranı seçilebilir. Tabii ki, farklı malzeme buharlaşma için farklı buharlaşma oranları kullanılmalıdır. Düşük biriktirme oranının bir filmin performansını nasıl etkileyebileceğinin pratik bir örneği olarak, yansıtıcı bir filmin biriktirilmesidir. Örneğin, film kalınlığı 600x10-8cm olduğunda ve buharlaşma süresi 3S olduğunda, yansıtma%93'tür. Bununla birlikte, buharlaşma oranı aynı film kalınlığı altında yavaşlarsa, film birikimini tamamlamak 10 dakika sürer. Şu anda, filmin kalınlığı aynı. Ancak, yansıtma%68'e düştü.

2. substrat sıcaklığı

Substrat sıcaklığı ayrıca buharlaştırıcı kaplama üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Yüksek substrat sıcaklıklarında substrat yüzeyine adsorbe edilen artık gaz molekülleri kolayca çıkarılır. Özellikle, su buharı moleküllerinin dışlanması daha önemlidir. Ayrıca, sadece fiziksel adsorpsiyondan kimyasal adsorpsiyona geçişi daha yüksek bir sıcaklıkta teşvik etmek kolay değildir, böylece partiküller arasındaki bağlanma kuvvetini arttırmak değildir. Ayrıca, buhar moleküllerinin yeniden kristalleştirme sıcaklığı ile substrat sıcaklığı arasındaki fark azaltılabilir, böylece film-substrat arayüzü üzerindeki iç stresi azaltabilir veya ortadan kaldırabilir. Ek olarak, substrat sıcaklığı filmin kristal durumu ile ilişkili olduğundan, amorf veya mikrokristalin kaplamalar, substratta düşük veya hiç ısıtma koşulları altında kolayca oluşma eğilimindedir. Tersine, sıcaklık daha yüksek olduğunda, kristalin bir kaplama üretmek kolaydır. Substrat sıcaklığının arttırılması, kaplamanın mekanik özelliklerinin iyileştirilmesinde de yararlıdır. Tabii ki, substrat sıcaklığı, buharlaştırılmış kaplamanın yeniden evleştirilmesini önlemek için çok yüksek olmamalıdır.

3. Vakum odasındaki artık gaz basıncının film performansı üzerindeki etkisi

Vakum odasındaki artık gazın basıncı membran performansı üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Basınç çok yüksekse, artık gaz moleküllerinin sadece buharlaştırılmış parçacıklarla çarpışması kolay değildir, böylece substrat üzerinde çekilen insanların kinetik enerjisi azalır, bu da filmin yapışmasını etkiler. Ayrıca, aşırı kalıntı gaz basıncı membranın saflığını ciddi şekilde etkileyecek ve kaplamanın performansını azaltacaktır.

4. Buharlaşma sıcaklığının buharlaşma kaplaması üzerindeki etkisi

Buharlaşma sıcaklığının film performansı üzerindeki etkisi, sıcaklığın bir fonksiyonu olarak buharlaşma oranı ile gösterilmektedir. Buharlaşma sıcaklığı yüksek olduğunda, buharlaşma ısısı azalacaktır. Film malzemesi buharlaşma sıcaklığının üzerinde buharlaştırılırsa, sıcaklıktaki hafif bir değişiklik bile film malzemesinin buharlaşma oranında hızlı bir değişikliğe neden olabilir. Bu nedenle, buharlaşma kaynağı ısıtıldığında büyük bir sıcaklık gradyanından kaçınmak için filmin birikimi sırasında buharlaşma sıcaklığını tam olarak kontrol etmek çok önemlidir. Yüce olması kolay film materyali için, film malzemesinin kendisi ısıtıcı olarak seçilir ve buharlaşma gibi önlemler de çok önemlidir. .

Yukarıdaki dört yön, vakum kaplama makinesinin kaplama tabakasının performansını etkileyen yaygın faktörlerdir ve aynı zamanda geleneksel etkileyen faktörlerdir. Vakum kaplama makinesinin kaplama işlemi sırasında, bu faktörlerin normal durumda olmasını sağlamak gerekir.