Vakum kaplamanın olumsuz reaksiyonlarını iyileştirmek için karşı önlemler nelerdir?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Stratejiyi geliştirin:

Güçlendirici ve dekontaminasyon tedavisini güçlendirin. Ultrasonik temizlik ise, bozulma fonksiyonu odaklanmalı ve bozulma çözeltisinin etkinliği sağlanmalıdır; Elden silinirse, kalsiyum karbonat tozu ile silmeyi ve ardından silmeyi düşünün.

Kaplamadan önce pişirmeyi güçlendirin. Koşullar izin verirse, substrat sıcaklığının 300 ℃ veya daha fazla ulaşabilmesi daha iyidir ve substratın yüzeyinde su buharı ve yağ buharı yapmak için sabit sıcaklığın 20 dakikadan fazla olması gerekir. *Not: Sıcaklık ne kadar yüksek olursa, substratın adsorpsiyon kapasitesi ne kadar büyük olursa, tozu adsorbe etmek de kolaydır. Bu nedenle, vakum odasının temizliği geliştirilmelidir. Aksi takdirde, tozdan önce substrata yapışır, bu da diğer kusurlara ek olarak filmin gücünü etkileyecektir. (Vakumda substrat üzerindeki su buharının kimyasal desorpsiyon sıcaklığı 260 ℃ üzerindedir). Bununla birlikte, tüm parçaların yüksek sıcaklıkta pişirilmesi gerekmez ve bazı nitrat malzemelerinin yüksek sıcaklığı vardır, ancak film gücü yüksek değildir ve lekeler meydana gelebilir. Bunun stres ve malzemelerin termal eşleşmesi ile daha büyük bir ilişkisi vardır.

Koşullar izin verdiğinde, ünite sadece ünitenin vakum pompalama hızını arttırmakla kalmayıp aynı zamVea su buharı ve yağ ve gazın substrattan çıkarılmasına yardımcı olan bir kondenser (ploycold) ile donatılmıştır.

Vakum derecesini arttırın. 1 metrenin üzerindeki kaplama makinesi için, buharlaşmanın başlangıç vakumu 3*10-3pa'dan yüksek olmalıdır. Kaplama makinesi ne kadar büyük olursa, buharlaşmanın başlangıç vakumu o kadar yüksek olur.

Mümkün olduğunda, ünite bir iyon kaynağı ile donatılmıştır, kaplamadan önce bombalanır, substratın yüzeyini temizler ve filmin kompaktlığına ve sıkılığına elverişli kaplama işlemine yardımcı olur.

Membran malzemesinden nemi çıkarmak için, bir vakum odasında bir petri kabında bir vakum odasında kurutma için kullanılacak membran malzemesini yerleştirin.

Çalışma ortamını kuru tutun (lens silme, şemsiye çalışma alanı dahil) ve çalışma ortamını temizlerken çok fazla su buharı getirmeyin.

Çok katmanlı filmler için, film sistemini tasarlarken, filmin ve substratın eşleşmesini dikkate almak ve substratlar için iyi bir adsorpsiyon kuvvetine sahip olan AL2O3 film materyalini mümkün olduğunca kullanmayı düşünmek gerekir. Metal filmler için, CR veya Cr alaşım kaplama katmanı da düşünülebilir. CR veya CR alaşımları ayrıca substrat için daha iyi adsorpsiyon gücüne sahiptir.

Lensin yüzeyinde aşınmış tabakayı (hidrolize tabaka) rehabilite etmek ve çıkarmak için parlatma sıvısı (parlatma sıvısı) kullanın

Bazen buharlaşma oranının uygun bir şekilde azaltılması, film gücünü artırmak için yararlıdır ve film yüzeyinin pürüzsüzlüğünü iyileştirmede olumlu bir anlama sahiptir.

Film Stresi:

İnce bir filmin film oluşum süreci, malzeme formunun bir dönüşüm sürecidir. Film oluşumundan sonra film katmanında stres olması kaçınılmazdır. Çok katmanlı filmler için farklı film malzemelerinin kombinasyonları vardır ve her film katmanı tarafından yansıtılan stresler farklılıklar vardır, bazıları gerilme stresidir, bazıları basınç stresidir ve filmin ve substratın termal stresleri vardır.

Stresin varlığı filmin gücüne zararlıdır. Daha hafif olan, filmin sürtünmeye dayanamayacağı ve ağır olanın filmdeki çatlaklara veya ince ağlara neden olduğu anlamına gelir.

Yansıtma karşıtı filmler için, stres genellikle az sayıda katman nedeniyle açık değildir. (Bununla birlikte, bazı nitrat lensler, yansıtma önleyici filmler olsa bile stres sorunlarına sahiptir.) Yüksek yansımalı filmler ve daha fazla katmanlı filtre filmleri için stres, yaygın bir istenmeyen faktöre özel bir dikkat gösterilmelidir.

Stratejiyi geliştirin:

Kaplamadan sonra pişirin. Son film katmanı kaplandıktan sonra hemen pişirmeyi bırakmayın ve 10 dakika boyunca "temperlemeye" devam edin. Film yapısını daha istikrarlı hale getirin.

Soğutma süresi uygun şekilde genişletilir ve tavlama yaşlanıyor. Vakum odasının iç ve dışındaki aşırı sıcaklık farkından kaynaklanan termal stresi azaltın.

Yüksek yansımalı filmler, filtre filmleri vb. İçin, buharlaşma işlemi sırasında, substrat sıcaklığı çok yüksek olmamalıdır, çünkü yüksek sıcaklıklar termal strese neden olabilir. Ve titanyum oksit ve tantal oksit gibi film malzemelerinin optik stabilitesi üzerinde olumsuz bir etkiye sahiptir.

İyon, stresi azaltmak için kaplama işlemine yardımcı olur.

Eşleşecek uygun film sistemini, film malzemesi katmanını ve substrat eşleşmesini seçin. (Örneğin, beş katmanlı yansıtma anti-yansıtma filmi, AL2O3-ZRO2-AL2O3-Al2O3-ZRO2-MGF2 kullanır; ZRO2 ayrıca SV-5 (ZRO2 TIO2 karışık film malzemesi) veya diğer yüksek yüksek kırılma indeks film malzemelerini de kullanabilir.

Buharlaşma oranını uygun şekilde azaltın (AL2O3-2.5A/S; ZRO2-3A/S; MGF2-6A/S referans oranı)

Oksijen doldurma reaksiyon kaplaması tüm oksit film malzemeleri üzerinde gerçekleştirilir ve oksijen gazı alım hızı farklı film malzemelerine göre kontrol edilir.

Dış filmin yüzey sertliği:

Yansıtma önleyici film genellikle MGF2'yi dış katman olarak kullanır. Filmin kesiti nispeten gevşek bir sütun yapısıdır ve yüzey sertliği yüksek değildir, bu nedenle yolu silmek kolaydır.

Stratejiyi geliştirin:

Film sistemi tasarımı izin verdiğinde, dış tabakaya yaklaşık 10nm SiO2 tabakası ekleyin ve silikon dioksitin yüzey pürüzsüzlüğü magnezyum florürden daha iyidir (ancak silikon dioksitin aşınma direnci ve sertliği magnezyum florür kadar iyi değildir). Kaplamadan sonra birkaç dakikalık iyon bombardımanından sonra, sıkılığın etkisi daha iyi olacaktır. (Ama yüzey daha kalın hale gelecektir)

Lens vakum odasından ayrıldıktan sonra, hızlı nem emilimini önlemek ve yüzey sertliğini azaltmak için kuru ve temiz bir yere yerleştirin.

Diğer

Kötü film gücünün nedenleri arasında düşük vakum (manuel olarak kontrol edilen makinelerde meydana gelmeye eğilimli), kirli vakum odası ve yetersiz substrat ısıtması bulunur.

Yardımcı gaz doldurulduğunda, zar malzemesi de boşluk derecesini azaltan, moleküler serbest yolu azaltır ve membran tabakası güçlü değildir. Bu nedenle, yardımcı gazın doldurulması, film materyalinin gazsızlaştırılmasını göz önünde bulundurmalı ve film malzemesi, kaplamadan önce tamamen ön erimiş ve tamamen kazınmıştır, bu da buharlaşma sırasında film malzemesinin gazetlenmesi nedeniyle vakum derecesinin aşırı azalmasını önleyebilir, böylece film gücünü etkilemektedir.

Filmi Çıkarın

Buradaki film sürümü de bir tür zayıf film olmasına rağmen, önceki film sürümünden bazı farklılıklar var. Ana özellikler şunlardır: nokta sürümü, kenar sürümü ve kısmi sürüm.

Bunun ana nedeni, membranda kir veya kirleticiler olmasıdır.

İyileştirme yöntemi: Substratın temizliğini iyileştirin.

2007 yılında önceki adı Huahong Vakum Technology olarak kurulan profesyonel Çin Optik Film Kaplama Makineleri Tedarikçiler and Optik Film Kaplama Makineleri Tedarikçiler püskürtme sistemleri, optik kaplama üniteleri, toplu metalleştiriciler, fiziksel buhar biriktirme (PVD) sistemleri, sert ve aşınmaya dayanıklı vakum kaplama biriktirme ekipmanı, cam, PE, PC substrat katmanları, esnek substratları kaplamak için rulo-rollu makineler dahil ancak bunlarla sınırlı değil. Makineler, otomotiv, dekoratif, sert kaplamalar, alet ve metal kesme kaplamaları ve üniversiteler de dahil olmak üzere endüstriyel ve laboratuvarlar için ince film kaplama uygulamaları aşağıda açıklanan (ancak bunlarla sınırlı olmamak üzere) çok çeşitli uygulamalar için kullanılmaktadır. Şirketimiz, yerel ve uluslararası pazarlarda satış sonrası hizmete odaklanıyor ve müşterileri karşılamak için doğru parça işleme planları ve profesyonel çözümler sunuyor.

Paylaşmak: