Yaygın buharlaşma kaplama teknolojisinin analizi- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Yaygın buharlaşma kaplama teknolojisinin analizi

1. Direnç buharlaşma kaplaması: Direnç buharlaşma kaynağı, altın, gümüş, çinko sülfür, magnezyum florür, krom trioksit, vb. Gibi düşük erime noktası malzemelerini buharlaştırmak için kullanılır.

2. Elektron ışını buharlaşma kaplama : Film malzemesi buharlaştırıldıktan ve elektron ışını ısıtması ile buharlaştırıldıktan sonra, vakum buharlaşma teknolojisinde önemli bir ısıtma yöntemi olan bir film oluşturmak için substratın yüzeyinde yoğunlaştırılır.

Bu tür cihazların birçok türü vardır. İnce film teknolojisinin geniş bir şekilde uygulanmasıyla, sadece membran türleri için gereksinimler çeşitlidir, aynı zamanda membranların kalitesi için gereksinimler daha katıdır.

Direnç buharlaşması artık bazı metallerin ve metal olmayanların buharlaşmasının ihtiyaçlarını karşılayamaz. Elektron ışını ısı kaynağı direnç ısı kaynağından çok daha büyük bir enerji yoğunluğu elde edebilir ve değer 104-109w/cm2'ye ulaşabilir, böylece film 3000-6000C'ye ısıtılabilir.

Bu, refrakter metalleri ve tungsten, molibden, germanyum, sio2, ai2o3, vb. Gibi buharlaştırma için daha iyi bir ısı kaynağı sağlar. Ayrıca, buharlaştırılacak malzeme, su soğutulacak bir heves, kaplama malzemesinin ve film malzemesinin buharlaşması, önleme için önlenebilir, önlenebilir.

Ek olarak, ısı doğrudan film malzemesinin yüzeyine eklenebilir, bu nedenle termal verimlilik yüksektir ve ısı iletimi ve ısı radyasyon kayıpları küçüktür.

3. ARC Isıtma Buharlaşma Kaplaması: Elektron ışını ısıtma yöntemine benzer bir ısıtma yöntemi, ark boşaltma ısıtma yöntemidir. Ayrıca direnç ısıtma malzemelerinin veya pota malzemelerinin kontaminasyonundan kaçınma özelliklerine sahiptir ve özellikle yüksek erime noktası ve belirli iletkenlik ile refrakter metallerin, grafit vb.

Aynı zamanda, bu yöntemde kullanılan ekipman elektron ışını ısıtma cihazından daha basittir, bu nedenle nispeten ucuz bir buharlaşma cihazıdır.

4. Lazer Işın Buharlaşma Kaplama: İnce filmler oluşturmak için malzemeleri buharlaştırmak için yüksek güç yoğunluklu darbeli lazer kullanma yöntemine genellikle lazer buharlaşma denir

5. Yüksek frekanslı indüksiyon Isıtma Buharlaşma Kaplaması: Metali buharlaşma sıcaklığına ısıtmak için indüksiyon ısıtma ilkesini kullanın.

Film malzemesini içeren pota, spiral bobinin merkezine yerleştirilir ve bobinden yüksek frekanslı bir akım geçirilir, böylece metal film malzemesi buharlaşana kadar kendini ısıtmak için akım üretebilir.

İndüksiyon Isıtma Buharlaşma Kaynağının Özellikleri:

1. Yüksek buharlaşma oranı

2. Buharlaşma kaynağının sıcaklığı düzgün ve kararlıdır ve alüminyum damla sıçrama fenomeni üretmek kolay değildir

3. Buharlaşma kaynağı bir seferde şarj edilir, tel besleme mekanizması gerekmez, sıcaklık kontrolü nispeten kolaydır ve işlem basittir

4. Membran malzemesinin saflığı için gereksinimler biraz daha geniştir.

Termal Buharlaşma Vakum Kaplama Makinesi