Yaygın vakum sızıntısı algılama yöntemleri

Helyum kütle spektrometrisi ile sızıntı tespiti

Bu teknoloji, vakum sızıntısı tespiti alanında vazgeçilmez bir teknolojidir. Yüksek sızıntı algılama verimliliği, kolay çalışma, hassas enstrüman yanıtı, yüksek hassasiyeti ve değil, sızıntı tespitinde yaygın olarak kullanılır. Çin PVD Kaplama Sistemleri Tedarikçileri diğer gazlar tarafından kolayca müdahale edilebilir. Helyum kütle spektrometresi sızıntı dedektörü, helyum sızıntı göstergesi gazı olarak kullanan kütle spektrometresi prensibine dayalı bir tür gaz gerginliği tespit aracıdır. Bir iyon kaynağı, bir analizör, bir koleksiyoncu, soğuk katot iyonizasyon göstergesi, bir kütle spektrometri odası, egzoz sistemi ve bir elektrik parçasından oluşur. Kütle spektrometri odasındaki filamentten yayılan elektronlar, odada ileri geri salınır ve iç mekan gazı ve helyum, pozitif iyonlara dönüşmek için sızıntılı delikten odaya girer. Bu helyum iyonları, hızlandırılmış elektrik alanının sol ve sağ beyinlerinin altına manyetik alana girer ve Lorentz kuvvetinin etkisi nedeniyle saptırır, dairesel bir ark yörüngesi oluşturur ve hızlandırılmış elektrik alanını değiştirir. Basınç, farklı kütleli iyonların manyetik alanlar ve alıcı yuvalar yoluyla alıcı direğe ulaşarak tespit edilmesini sağlar. Helyum enjeksiyon yöntemi ve helyum emme yöntemi, helyum kütle spektrometresinin sızıntı tespitinde yaygın olarak kullanılan iki yöntemdir.