Buharlaşma vakum kaplama makinesi ve fiziksel prensip- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Buharlaşma vakum kaplama makinesi ve fiziksel prensip

Buharlaşma vakum kaplama makinesi esas olarak bir vakum kaplama odası ve bir vakum pompalama sisteminden oluşur. Vakum odasında buharlaşma kaynakları (yani buharlaştırma ısıtıcıları), substratlar ve substrat tutucular, elektrot çubukları, güç kaynakları, hacimler, substrat ısıtıcıları, egzoz sistemleri vb. Vardır.

Kaplama malzemesi, vakum odasında buharlaşma kaynağına yerleştirilir. Yüksek vakum koşulları altında, buharlaşma kaynağı buharlaşmak için ısıtılır. Buhar moleküllerinin ortalama serbest yolu, vakum odasının doğrusal boyutundan daha büyük olduğunda, film buharının atomları ve molekülleri buharlaşma kaynağından buharlaşacaktır. Kaynak yüzey kaçtıktan sonra, diğer moleküller veya atomlar tarafından nadiren çarpışır ve engellenir ve doğrudan kaplanacak substratın yüzeyine ulaşabilir. Substratın düşük sıcaklığı nedeniyle, film malzemesinin buhar parçacıkları bir film oluşturmak için yoğunlaşır.

Buharlaştırılmış moleküller ve substrat arasındaki yapışmayı iyileştirmek için, substrat uygun ısıtma veya iyon temizleme ile aktive edilebilir. Vakum buharlaşma kaplamasının malzeme buharlaşmasından, taşıma ve film oluşumuna kadar fiziksel süreci aşağıdaki gibidir:

1. Diğer enerji formlarını ısı enerjisine dönüştürmek, film malzemesini buharlaştırmak veya yüce için ısıtmak ve gazlı parçacıklar (atomlar, moleküller veya atom grupları) belirli bir enerjiyle (0.1 ~ 0.3EV) ısıtmak için çeşitli yöntemler kullanın:

2. Gazlı parçacıklar membran malzemesinin yüzeyini bırakır ve çarpışma olmadan önemli bir hareket hızına sahip düz bir çizgide substratın yüzeyine taşınır;

3. Substratın yüzeyine ulaşan gaz parçacıkları yoğunlaşır ve katı bir filme dönüşür;

4. Filmi oluşturan atomlar yeniden düzenlenir ve düzenlenir veya kimyasal olarak bağlanır.