Hatta Püskürtme Sistemlerinin Özellikleri

"Hat" PVD püskürtme sistemi, substratların ince film kaplamalarını elde etmek için bir veya daha fazla püskürtme katotunun altından doğrusal olarak geçtiği bir sistemdir. Normalde substratlar, bu hareketi kolaylaştırmak için bir taşıyıcıya veya palete yüklenir ve bazı küçük sistemler parti başına sadece bir palet kullanır. Daha büyük sistemler, nakliye alt sisteminden geçen sürekli bir konvoyda, bir önceki kuyruğun arkasından takip eden bir konvoyda birbiri ardına bir palet gönderen ve alan uç istasyon palet işleyicilerinin kullanılarak birden fazla palet kullanma yeteneğine sahip olabilir.

Ortak ve en az karmaşık konfigürasyon, paletlerin ve katotların üstte katotlarla yatay olması ve bir püskürtme yönünde altta alt tabakalar olmasıdır. Bu modda, yerçekimi genellikle substratları paletlere tutan tek şeydir ve ayrıca paletleri taşıma mekanizmasına tutan tek şeydir, bu da vakum odasından yan raylar boyunca çalışan zincirler olabilir.

Bu yatay düzenleme, alttaki katotlar ve bir püskürtme yönü için üstte substratlar ile de yapılabilir, ancak açıkçası bu, aleti biraz karmaşıklaştırır, şimdi substratları yerinde tutmak için mekanik araçlar gerektirir. Tek taraflı kaplama için, bu çok yaygın bir konfigürasyon değildir, ancak bazen paletlerin üstünde ve altında katotlarla çift taraflı kaplama için yapılır. Bu durumda paletler, alt tarafların alt katottan püskürtme kaplamasını alabilmesi için substratları tutmak için uygun açıklıklara sahiptir.

Ancak yatay, partiküller açısından bir dezavantaja sahiptir. Püskürtme modunda, oda içinde üretilen parçacıklar substratlara kolayca inebilir ve filme gömülebilir - ve bu gerçekleşmesi gerekir. Biriktirme sistemleri, sadece substratlar dışında yer alan malzemeler elde etmekle biraz kendi kendine kirlenir. En büyük rutin bakım sorunu, işleri temiz tutmaktır. Püskürtme oryantasyonunda, bu parçacıklar substratlara girmez, ancak hedeflere inebilir ve yeniden tükenebilir. Kağıt Alüminyum İnce Filmler Vakum Kaplama Makinesi

Dolayısıyla, daha iyi bir partikül ortam için, yan püskürtme için dikey oryantasyon seçeneği de vardır. Hem katotlar hem de paletler dikeydir ve biriktirme yanaldır. Takım ve taşıma sistemi, substratları palette tutmak ve aynı zamanda paleti bu yönde işlemek için önemli ölçüde daha karmaşık hale gelir, ancak parçacıkların katot veya substrat üzerine düşme olasılığı daha düşüktür.

Bu konfigürasyonların herhangi birinde, çeşitli katot türlerinin tümü kullanılabilir, manyetonlar genellikle popüler, düzlemsel veya içtir. Ve güç, uygulama için istendiği gibi RF, MFAC, DC veya darbeli DC gibi çeşitli türlerden herhangi biri olabilir. Püskürtme aşısı, ısı veya iyon kaynakları gibi isteğe bağlı aşamalar da yerleştirilebilir ve metalik/iletken kaplamalar, dielektrikler, optik kaplamalar veya diğer püskürtme uygulamaları için tüm enstrümantasyon ve kontrol dizisi mevcuttur.

Diğer tipleri kullanmak mümkün olsa da, bu tür sistemlerdeki katotların dikdörtgendir. Kural olarak, dikdörtgen katotun uzun ekseni bölme boyunca ve kısa eksen palet hareketi yönünde. Ve katotları kasıtlı olarak düzgün olmayan kaplama için yapılandırmak mümkün olsa da, kullanıcıların büyük çoğunluğu substratlarının eşit olarak kaplanmasını istiyor. Tartıştığımız gibi sıralı bir sistemde, palet hareketi yönündeki homojenlik, taşıma hızının stabilitesi ve son olarak biriktirme bölgesinin önünde ve arkasındaki başlangıç/durdurma pozisyonları ile birlikte katot gücünün ve oda basıncı/gaz karışımının stabilitesine bağlıdır.

Tek bir palet veya kuyrukta bir ucundaki ve son palet için sürekli çalıştırma için, başlangıç ​​pozisyonu (ve durdurma pozisyonu), taramaya başlamadan önce herhangi bir spreyter stabilizasyon periyodu boyunca planlanmamış birikimi tahakkuk etmekten kaçınmak için doğrudan hedef altından yeterince uzak olmalıdır. Tarama yönünün herhangi bir başlangıcı, durması veya tersine çevrilmesi gerçek biriktirme bölgesinin dışında gerçekleşmeli ve tarama biriktirme bölgesi boyunca sabit ve kesintisiz olmalıdır. Taramalar her iki yönde de tek geçiş olabilir veya daha kalın kaplamalar oluşturmak için ileri geri olabilir.

Üç ve dört hedef sistem oldukça yaygındır ve oda uzunluğu gerektiği gibi ek kaynakları karşılamak için artırılabilir. Yeterli güç kaynakları ile, birden fazla hedef aynı anda tek bir geçişte kullanılabilir. Katotlardaki farklı hedef malzemelerle, çoklu katmanlar tek bir geçişte veya yinelenen hedeflerle birikebilir, daha kalın kaplamalar tek bir geçişte elde edilebilir.

Palet tarama yönüne dik olan diğer eksendeki tekdüzelik, özellikle reaktif püskürtme için olası gaz dağılım sorunları da dahil olmak üzere katodun performansı ile belirlenir. Magnetonlarla, mıknatısların yerleşimi ve gücü hem hedef kullanımını hem de doğal tekdüzeliği etkileyebilir ve normalde bu iki yön arasında bir ticaret vardır. Hedefin uzunluğunun merkezi boyunca, hem tekdüzelik hem de kullanım normalde oldukça iyidir, ancak "yarış pisti" erozyon yolunun döndüğü uçlarda, biriktirme oranı ve sonuçta ortaya çıkan film kalınlığı, mıknatıslar telafi etmek için ayarlanmadığı sürece düşer, ancak erozyon kanalı orada derinleşirse ve hedef kütlesi azalırsa, hedef kütlesi azalırsa (hedef yıpranma, yutulmaya başlamanın yüzdesi, yutulmaya başlamadan önce point azalırsa, yutulur). destek plakası).

Daha büyük çoklu palet sistemlerinde kuyruk işlemeye ipucu, alt tabakalarınıza daha fazla ve kalkanlara ve diğer oda parçalarında daha az elde etme açısından hedef malzeme kullanımı için de oldukça faydalıdır. Tek bir palet sisteminde, kurşun palet tek palettir ve biriktirme bölgesinden ayrıldığı için, arka kenar - kuyruk - çıkışa kadar taramaya devam etmeli, hedef hala hedef malzemenin bir kısmını etkili bir şekilde boşa harcayan tüm zamanları yakar.

Uçtan kuyruk yaklaşımında, bir kuyruk ve bir sonraki uç arasında sadece kısa bir boşluk vardır ve daha sonra malzeme bir kez daha substratlarla dolu bir "canlı" palete gidiyor, palet biriktirme bölgesinden çıktıkça yeni bir palet giriyor, ancak başparmak kuralına göre, kuyruğa yaklaşımın bir kural, malzeme kullanımının neredeyse iki katı olabileceği gibi, malzeme kullanımında neredeyse iki kat daha etkili olabilir.

Çok yönlülüğün üst ucunda, süreç bölümlerini izole etmek için yarık valflerin eklenmesi, sofistike otomasyon kontrolü ile birleştiğinde, farklı bölümlerin farklı gaz ortamları (basınç ve gaz karışımı) ile aynı anda çalıştırılmasını mümkün kılabilir, belki de bir palette bir tabakayı doğrudan palette bir palette bir palette palet olarak pullu bir şekilde palkaya atar. Sıralı Püskürtme Sistemleri, çok çeşitli işlem gereksinimlerini ve substrat boyutlarını karşılayacak şekilde özelleştirilebilir.