Magnetron püskürtülmüş filmlerin tekdüzeliği nasıl çözülür?

, nispeten düzgün bir uzay manyetik alanının oluşturulması için manyetik alanın tekdüzeliği ve yönü sağlanmalıdır.

İkincisi, hava basıncının tekdüzeliği mümkün olduğunca sağlanmalıdır. Vakum odasını tasarlarken, vakum pompasının montaj konumu, yol Buharlaşma vakum kaplama makinesi fabrikası Proses gazı alımı ve odadaki işlem borusunun düzeni dikkate alınmalıdır.

Üçüncüsü, manyetik alan ve hava basıncı kesinlikle ideal olamadığından, manyetik alan, son filmi üniforma yapmak için hava basıncının eşitliği ile telafi edilebilir.

Dördüncüsü, hedef taban mesafesi de tekdüzeliği etkileyen önemli bir faktördür.

Paylaşmak: