E -posta: 
Tel:+86-13486478562
Dil Ürün danışmanlığı
E -posta adresiniz yayınlanmayacaktır. Gerekli alanlar işaretlenmiştir *
Vakum kaplama makinesi Esas olarak, vakum dirençli ısıtma buharlaşması, elektron tabancası ısıtma buharlaşması, magnetron püskürtme, MBE moleküler ışın epitaksisi, PLD lazer püskürtme biriktirme, iyon dahil olmak üzere birçok tip dahil olmak üzere birçok tip dahil olmak üzere daha yüksek bir vakum altında gerçekleştirilmesi gereken bir kaplamayı ifade eder. Ana fikir iki tür buharlaşma ve püskürtme haline gelir.
Elektrik Kontrol Kabini İşlemi
1. Su pompasını ve hava kaynağını açın.
2. Ana güç kaynağını açın.
3. Bakım pompasının güç kaynağını ve vakum göstergesini, vakum gösterge konumunu v1'i açın, değerin 10'dan az olmasını bekleyin ve ardından bir sonraki adıma girin. Yaklaşık 5 dakika sürer.
4. Mekanik pompayı açın, ön pompayı, turbo moleküler pompanın gücünü açın ve başlatın. Vakum göstergesi anahtarı V2 konumuna değiştirilir. 2'den az pompalamak yaklaşık 20 dakika sürer.
5. Turjoleküler pompanın okunmasının 250'ye ulaştığını gözlemledikten sonra, vakumlamaya devam etmek için ön pompayı kapatın, destek pompasını ve yüksek vakum valfini açın. Vakum belirli bir seviyeye ulaştıktan sonra, vakumu gözlemleme sağındaki yüksek vakum göstergesini açın. Sadece vakum 2 × 10-3'e ulaştıktan sonra elektron tabancası güç kaynağı açılabilir.
1. Su pompasını ve hava kaynağını açın.
2. Ana güç kaynağını açın.
3. Bakım pompasının güç kaynağını ve vakum göstergesini, vakum gösterge konumunu v1'i açın, değerin 10'dan az olmasını bekleyin ve ardından bir sonraki adıma girin. Yaklaşık 5 dakika sürer.
4. Mekanik pompayı açın, ön pompayı, turbo moleküler pompanın gücünü açın ve başlatın. Vakum göstergesi anahtarı V2 konumuna değiştirilir. 2'den az pompalamak yaklaşık 20 dakika sürer.
5. Turjoleküler pompanın okunmasının 250'ye ulaştığını gözlemledikten sonra, vakumlamaya devam etmek için ön pompayı kapatın, destek pompasını ve yüksek vakum valfini açın. Vakum belirli bir seviyeye ulaştıktan sonra, vakumu gözlemleme sağındaki yüksek vakum göstergesini açın. Sadece vakum 2 × 10-3'e ulaştıktan sonra elektron tabancası güç kaynağı açılabilir.
DEF-6B işlemi
1. Toplam güç kaynağı.
2. Elektron Tabancası Kontrolü ⅰ ve Elektron Tabancası Kontrolü ⅱ Güç kaynağı aynı anda açın: Elektron tabancası kontrolü ⅰ Güç kaynağı, gecikme anahtarı, gecikme, güç kaynağı ve koruma ışıkları açıktır. Üç dakika sonra gecikme ve koruma ışıkları kapalıdır. Arka kapı kapalı değilse veya su akışı rölesi arızası varsa, koruma ışığı her zaman açık olacaktır.
3. Yüksek voltaj açıldığında, yüksek voltaj 10kV'den fazla ulaşacaktır, ışın akımı yaklaşık 200mA'ya ayarlanabilir, perde ızgarası 20V/100mA'dır, filaman akımı 1.2A'dır ve sapma akımı 1 ve 1.7 arasında sallanır.
Kapatma sırası
1. Yüksek vakum ölçer ve moleküler pompayı kapatın.
2. Moleküler pompa ekranı 50'ye ulaştığında, yüksek valfi, ön aşamayı ve mekanik pompayı kapatın. Bu dönem yaklaşık 40 dakika sürer.
3. 50'nin altında olduğunda bakım pompasını tekrar kapatın.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -posta: 
Address: 79 West Jinniu Yolu, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provices, Çin