Magnetron püskürtücü vakum kaplama makinesi nedir ve nasıl çalışır?
Magnetron püsküren vakum kaplama makinesi, çok çeşitli substratlar üzerinde ince film birikimi için kullanılan son teknoloji bir teknolojidir. Ama tam olarak nedir ve nasıl çalışır?
Özünde, Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Makinesi bir hedef malzeme, tipik olarak bir metal veya alaşım ve kaplanacak bir substrat içeren bir yüksek kasıtlı bir odadır. Süreç, hedef materyalin, atomları yüzeyinden çıkaran ve bunları substrata biriktirerek ince bir film oluşturan yüksek enerjili iyonlar tarafından bombalanmasını içerir.
Magnetron püskürtme vakum kaplama makinesinin temel bileşenlerinden biri, odada yüksek oranda iyonize bir plazma üreten bir plazma kaynağı olan Magnetron'dur. Magnetron bir katot (hedef malzeme), bir anot ve manyetik alandan oluşur. Manyetik alan, plazmayı sınırlamaya ve odadaki gaz moleküllerinin iyonizasyonunu daha verimli püskürtme ile artırmaya hizmet eder.
İşlem, odayı yüksek bir vakuma, tipik olarak 10^-6 Torr'a pompalayarak başlar. Hedef malzeme daha sonra atomları deviren ve substrat üzerine biriken bir parçacık akısı oluşturan iyonlar tarafından bombalanır. Biriktirme oranı ve film özellikleri, iyon akısı, hedef voltaj ve odadaki basınç ayarlanarak kontrol edilebilir.
Magnetron püskürtme vakum kaplama makinesinin avantajlarından biri çok yönlülüğüdür. Metaller, alaşımlar, seramikler ve yarı iletkenler dahil olmak üzere çok çeşitli malzemeleri biriktirmek için kullanılabilir. Ayrıca, iyileştirilmiş sertlik, aşınma direnci veya optik özellikler gibi benzersiz özelliklere sahip olabilen çok katmanlı kaplamalar oluşturmak için de kullanılabilir.
Magnetron püskürtme vakum kaplama makinesinin bir başka avantajı, yüksek homojenlik seviyesidir. Odadaki manyetik alan, iyon akısını hedefin yüzeyi boyunca eşit olarak, filmin daha düzgün bir biriktirme oranına ve kalınlığına dağıtmaya hizmet eder.
Sonuç olarak, Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Makinesi, havacılık, elektronik ve optik gibi endüstrilerde yaygın olarak kullanılan oldukça sofistike bir teknolojidir. Çok çeşitli malzemeler yatırma, çok katmanlı kaplamalar yaratma ve son derece tek tip filmler üretme yeteneği, onu araştırma ve geliştirme ve büyük ölçekli üretim için vazgeçilmez bir araç haline getirir.
Çok arc iyon ve püskürtme kaplamaları çok çeşitli renklerde birikebilir. Biriktirme işlemi sırasında odaya reaktif gazlar eklenerek renklerin plakası daha da arttırılabilir. Dekoratif kaplamalar için yaygın olarak kullanılan reaktif gazlar azot, oksijen, argon veya asetilendir. Dekoratif kaplamalar, kaplamanın ve kaplamanın yapısındaki metal-GAS oranına bağlı olarak belirli bir renk aralığında üretilir. Bu faktörlerin her ikisi de biriktirme parametreleri değiştirilerek değiştirilebilir.
Birikmeden önce, parçalar temizlenir, böylece yüzey toz veya kimyasal safsızlıklar içermez. Kaplama işlemi başladıktan sonra, ilgili tüm işlem parametreleri otomatik bir bilgisayar kontrol sistemi tarafından sürekli olarak izlenir ve kontrol edilir.
• Kaplama Filmi: Çok fonksiyonlu metal film, kompozit film, şeffaf iletken film, yansıtma artan film, elektromanyetik koruyucu film, dekoratif film.
• Film rengi: Çok renk, tabanca siyah, titanyum altın rengi, gül altın rengi, paslanmaz çelik renk, mor renk, koyu siyah, koyu mavi ve diğer daha fazla renk.
• Film Tipi: Tin, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN ve DLC.