Reaktif püskürtme nedir?

Püskürtme, fiziksel buhar birikimi için yaygın bir tekniktir (PVD) Çin sert film vakum kaplama makinesi , ince film kaplamaları üretme yöntemlerinden biri. Standart püskürtme, istenen saf malzemenin ve genellikle argonun inert bir gazının bir hedefini kullanır.

Malzeme tek bir saf kimyasal eleman ise, atomlar bu formda hedeften çıkar ve bu formda birikir.

Bununla birlikte, inert gaza (argon) ek olarak oksijen veya azot gibi inert olmayan bir gaz kullanmak da mümkündür. Bu yapıldığında, iyonize inert olmayan gaz, hedef malzeme buhar bulutu ile kimyasal olarak reaksiyona girebilir ve daha sonra biriken film haline gelen bir moleküler bileşik üretebilir. Örneğin, oksijen gazı ile reaktif olarak püskürtülen bir silikon hedefi bir silikon oksit filmi üretebilir veya azot gazı ile bir silikon nitrür filmi üretebilir.

Paylaşmak: