Termal buharlaşma ile ince film birikimi nedir?

Fiziksel buhar birikiminin (PVD) yaygın yöntemlerinden biri termal buharlaşmadır. Bu, kaplamaları uygulamak için bir vakum teknolojisi olan bir ince film biriktirme biçimidir. Buharlaşma Vakum Kaplama Makinesi Tedarikçileri çeşitli nesnelerin yüzeyine saf malzemelerin. Film olarak da adlandırılan kaplamalar, genellikle mikronlara angstromların kalınlık aralığındadır ve tek bir malzeme olabilir veya katmanlı bir yapıda çoklu malzeme olabilir.
Termal buharlaşma teknikleri ile uygulanacak malzemeler, hem metaller hem de metal olmayanlar dahil olmak üzere saf atomik elementler olabilir veya oksitler ve nitrürler gibi moleküller olabilir. Kaplanacak nesne substrat olarak adlandırılır ve yarı iletken gofretler, güneş pilleri, optik bileşenler veya diğer birçok olasılık gibi çok çeşitli şeyler olabilir.

Termal buharlaşma, yüksek bir vakum odasının içinde katı bir malzemenin ısıtılmasını ve bir miktar buhar basıncı üreten bir sıcaklığa götürmeyi içerir. Vakumun içinde, oda içinde bir buhar bulutunu yükseltmek için nispeten düşük bir buhar basıncı bile yeterlidir. Bu buharlaştırılmış malzeme şimdi, odayı geçip substrata çarpan, bir kaplama veya film olarak yapışan bir buhar akışı oluşturuyor.
Termal buharlaşma işlemleri durumlarında, malzeme erime noktasına ısıtıldığından ve sıvı olduğu için, genellikle odanın dibinde, genellikle bir tür dik potada bulunur. Buhar daha sonra bu alt kaynağın üzerinde yükselir ve substratlar odanın üst kısmındaki uygun armatürlerde ters çevrilir. Kaplanması amaçlanan yüzeyler, kaplamalarını almak için ısıtılmış kaynak malzemeye doğru bakar.
Adımlar